霍尼韦尔 AWM3000 系列放大气体质量流量传感器
同 AWM2000 系列一样，惠斯顿双电桥控制气体流量测量。AWM3000 系列具有放大功能，因此能用于提升增益和将电压偏移引入传感器输出。加热器控制电路和传感桥供电电路位于封装电路板上。
注意：产品损伤
AWM 系列微桥式气体质量流量传感器不适用于测量液体流量，液体流过传感器时会损坏传感器。
补偿温度范围
-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]
流量/压力范围
+200 SLPM
±1000 sccm (1 SLPM)
0 mbar 至 1.25 mbar [0 H20 至 0.5 H20]
±5.0 mbar [2.0 英寸 H20]
+30.0 sccm
0 mbar 至 5.0 mbar [0 H20 至 2.0 H20]
响应时间
典型值 1 ms，最大 3 ms
最大 60 ms
最大 3 ms
电源电压
最小 8.0 Vdc，典型值 10.0 Vdc，最大 15.0 Vdc
8.0 Vdc 至 15.0 Vdc
10.0 Vdc ±0.01 Vdc
UNSPSC 代码
41111931
冲击
100 g 峰值 (5 drops, 6 axes)
输出温漂
±32% 读数
±24% 读数
±4% 满量程
- 31% 读数至 24% 读数
±5% 读数
零位
1 Vdc ±0.08 Vdc
1 Vdc ±0.05 Vdc
4 mA dc ±0.4 mA dc
1 Vdc ±0.10 Vdc
4 mA dc ±0.3 mA dc
3 Vdc 至 0.050 Vdc
端口类型
直
信号调节
放大
UNSPSC 商品
41111931 流量传感器
可重复性
±0.50% 读数
±1% 读数
调整点的输出电压
在 1000 sccm 时，5.0 Vdc (1.0 SLPM)
5.0 Vdc ±0.15 Vdc
在水中 2.0 时，5.0 Vdc
20.0 mA dc ±1.0 mA dc
在 25 sccm 时，3.4 Vdc
在 200 sccm 时，5.0 Vdc
20.0 mA dc ±1 mA dc
存储温度
-40°C 至 90°C [-40°F 至 194°F]
介质兼容性
仅干燥气体
重量
10.8 g
系列名称
AWM3000
工作温度
-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]
功耗
典型值 50 mW
典型值 100 mW
典型值 50 mW，最大 60 mW
整个温度范围内的零位
±25.0 mV dc
±0.050 Vdc（最大）
±100 mV dc
±2.0 mA dc（最大）
共模压力
25 psi